静电驱动MEMS扫描振镜
- 概念设计
- 三维建模
- 有限元仿真
概念设计
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1.建立二维轮廓；
2.确定关键尺寸；
3.协同SW建立精准三维图形；
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三维建模
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1.建立三维图形；
2.协同有限元仿真软件行进多物理场分析；
3.整体结构装配；
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有限元仿真
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1.力学分析；
2.谐振频率分析；
3.机电耦合分析；
4.灵敏度分析；
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应力评估
谐振频率
一维MEMS扫描振镜镜面尺寸
1mmx1.5mm，设计扭转梁尺寸使扫描振镜共振频率达到8kHz，机械扫描角度与镜面尺寸的乘积θmech·D达到3.9Deg·mm(QVAG)。
垂直梳齿电容的静电驱动
为避免吸合效应，采用无交叠垂直梳齿驱动。设计梳齿电客排布方式与尺寸，提供扭转振动的驱动力。
基于单片硅片的制造工艺
设计开发一种以单晶硅片为材料、结合双面对准光刻与DRIE的体硅加工工艺流程。
工作参数